《表6 4号样品SE拟合结果Tab.6 SE fitting result of sample 4》
表6是4号样品中心位置5个测量点的拟合结果。从表中可以看出5个点位的χ2接近0.2,同时拟合的厚度值为9.69 nm,在GIXRR拟合结果的不确定度范围以内,说明样品的厚度拟合结果是准确可靠的,光学常数拟合也更加可靠。样品折射率为2.121,在Hf O2薄膜材料的折射率范围内,消光系数一直为0,说明薄膜对光无吸收。
图表编号 | XD0017624400 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.03.01 |
作者 | 张寅辉、任玲玲、高慧芳、刘小萍 |
绘制单位 | 中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所、太原理工大学表面工程研究所、中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所、中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所、太原理工大学表面工程研究所 |
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