《表5 3号样品SE拟合结果Tab.5 SE fitting result of sample 3》

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《纳米尺度HfO_2薄膜不同厚度对光学性质的影响》

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表6是4号样品中心位置5个测量点的拟合结果。从表中可以看出5个点位的χ2接近0.2，同时拟合的厚度值为9.69 nm，在GIXRR拟合结果的不确定度范围以内，说明样品的厚度拟合结果是准确可靠的，光学常数拟合也更加可靠。样品折射率为2.121，在Hf O2薄膜材料的折射率范围内，消光系数一直为0，说明薄膜对光无吸收。