《表3 滤波器层间对位精度》
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测试8组滤波器样品第10层图形与第13层图形的对位精度，测试结果如表3所示。
| 图表编号 | XD0016608700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2018.06.20 |
| 作者 | 王亮、陈晓勇、钱超、贾少雄、李俊 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
测试8组滤波器样品第10层图形与第13层图形的对位精度，测试结果如表3所示。
| 图表编号 | XD0016608700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2018.06.20 |
| 作者 | 王亮、陈晓勇、钱超、贾少雄、李俊 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所、中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
