《表1 8个吸收峰的相关参数》

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《基于悬空电容的机械振子的制备和表征》

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图3给出了利用矢量网络分析仪测量到的样品传输特性曲线S21.如上所述，由于在样品中心导体的两侧存在8个频率不同的LC回路，所以通过矢量网络分析仪可以测出8个吸收峰，其频率如表1中所示.我们对悬空电容和螺旋电感构成LC微波谐振回路进行了仿真.同时，我们通过FastHenry计算得到的电感值，根据实际测量得到的谐振频率和电感计算值，可以计算出电容值，将电容近似作为平板电容结构，可以得到电容两极板间的距离d，如表1所示，d的平均值为30.75nm，方差为2.19nm2，可见制备出的8个机械振子的电容是比较一致的.