《表1 几种高纯气体中氧含量的标准要求》

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《可移动式微量氧分析仪检定装置研制》

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氧气作为一种化学活性较强的物质，在空气中含量为21%，而氧含量是检测高纯气体质量的重要指标，高纯气体作为保护气时控制和检测氧气含量尤为关键。在我国国家标准中，对高纯气体的质量要求有明确的指标，高纯气体中微量氧的含量一般控制在几个μmol/mol（如表1所示），想要准确测定不同种类的高纯气体中的氧，就必须选择合适的方法。在生产过程中，测量微量氧含量的方法很多，如热化学法、比色法、热导法、黄磷发光法和原电池法等。因热化学法、比色法和热导法的灵敏度比较低，黄磷发光法操作不方便，且所需设备比较复杂，故均未得到广泛应用。目前应用最广泛的是微量氧分析仪[2]。微量氧分析仪[3]主要用于工业在线、实验室以及瓶装高纯N2，Ar，He等中微量氧、痕量氧的快速检测[4]。根据高纯气体的特性可选择适当的微量氧分析仪进行准确、快速、简便地连续分析，但微量氧分析仪需要用标准气定期进行检定或校准。