《表2 最低检出限：P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用》

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《P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用》

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使用组分为H2（1.5×10-6）、O2（1.4×10-6）、N2（1.7×10-6）、CH4（1.4×10-6）、CO（1.4×10-6）、CO2（1.5×10-6）的标气，连续7次进样测定上述气体的最低检出限。根据上述公式进行计算，计算结果如表2所示。由表2可知，上述永久性气体的检出限均能达到30×10-9以下。