《表1 方法参数：P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用》

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《P5100系列氦离子色谱仪测定高纯气体中微量永久性气体杂质的应用》

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P5100系列氦离子分析仪部分参数如表1所示。仪器采用三阀三柱设计，可通过一次定量环进样同时分析H2、O2/Ar、N2、CH4、CO、CO2等永久性气体。为实现对上述气体的有效分离，采用PoraPLOT Q和HP-MOLESIEVE色谱柱进行分离。如果把上述色谱柱进行简单的串联使用，不能实现CO2的测定。因为HP-MOLESIEVE色谱柱对CO2有较强的保留吸附作用。因此，为实现对CO2的有效测定，采用阀切换技术将PoraPLOT Q色谱柱分离出的CO2直接切换至PDHID检测器进行分析。为实现对上述种类气体的高纯气体中微量永久性杂质的有效分析，该仪器采用选择性切割技术，通过阀切换有效切除高纯组分，以避免高纯度组分峰信号掩盖杂目标杂质峰，同时有效避免检测器饱和，提高检测器灵敏度，延长检测器使用寿命。