《表2 不同离子注入能量对应的结深》

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《离子注入结深的参数影响分析》

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然后改变离子注入的能量，分别设定离子注入的能量为1 KeV、10 KeV、20 KeV、30 KeV、40 KeV、50 KeV。分别提取每次离子注入后的结深数据，最后进行数据汇总分析。得到的离子注入结深见表2。