《表1 不同离子注入剂量对应的结深》

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《离子注入结深的参数影响分析》

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然后改变离子注入源的剂量，分别设定离子注入源剂量为1×1011/cm2、1×1012/cm2、1×1013/cm2、1×1014/cm2、1×1015/cm2、1×1016/cm2，分别提取每次离子注入后的结深数据，最后进行数据汇总分析。得到的离子注入结深见表1。