《表1 LTCC基板化学镀镍钯金主要物料及工艺条件》

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《化学镀镍钯金技术在LTCC低成本化进程中的应用》

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本实验选用LTCC国产银浆料，并在其上实现化学镀镍钯金。LTCC基板化学镀镍钯金工艺流程为：酒精浸泡（常温，5～20 min）→水洗→盐酸活化（常温，2～5 min）→水洗→钯活化（20～60℃，3～5min）→水洗→盐酸脱钯（35～45℃，1～2 min）→水洗→化学镀镍（80～90℃，8～20 min）→水洗→化学镀钯（50～54℃，10～20 min）→化学镀金（80～90℃，20min）。表1为LTCC基板化学镀镍钯金主要物料及相应工艺条件。