《表5 uHAST 168 h后IMC层的厚度》
表5是经过u HAST 168 h后IMC层的厚度数据。由表5发现,不同Pd含量的线材所形成的IMC厚度不尽相同。Pd含量较低的合金线在经过u HAST 168 h后,所形成的IMC厚度较厚,随着Pd含量的增加,IMC厚度也逐渐减小,即保留在芯片上的铝层越厚。可见在合金线中加入一定量的Pd有利于提高合金线的可靠性。
图表编号 | XD00150871900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.04.20 |
作者 | 施保球、黄乙为 |
绘制单位 | 气派科技股份有限公司、广东气派科技有限公司、气派科技股份有限公司、广东气派科技有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |