《表2 改善前后切割工艺参数对比》

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《多晶硅锭的剖方质量改善研究》


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实验工艺采用改善工艺,与原切割工艺不同的是砂浆初始状态,砂浆更换方式和切割速度和砂浆流量。其它切割参数与常规相同,见表2。