《表3 切割工艺参数：锗单晶多线切割工艺研究》

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《锗单晶多线切割工艺研究》

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本实验统一采用直拉法P型<100>偏<111>9°，直径为100 mm锗单晶棒，首先将实验棒平均分成四组，一组在室温25℃下，采用变速切割方式，其切割速度及曲线图如表2、图1所示；其他三组分别在不同环境温度下（20℃、25℃、30℃）采用定速切割方式，切割速度为180μm/min，四组实验其他切割条件相同，如表3所示。使用MWM-442D型多线切割机分别对以上四组单晶棒进行切割，每次切割一颗，每组实验条件切割2次。