《表1 仿真工艺参数表：多线摇摆往复式线锯切割加工运动的理论及试验研究》

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《多线摇摆往复式线锯切割加工运动的理论及试验研究》

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本文仿真计算中选择切割工件半径r=50 mm，针对线锯切割中的不同运动参数，分别选择表1所示的加工参数进行仿真计算，表中标黑参数的为基础工艺参数。将工艺参数代入到式（8）计算可以发现在实际加工过程中，第一个阶段仅占整个加工过程的0.7%，因此在后续分析中，主要考虑第二个阶段的影响。将各工艺参数代入到式（9），可以计算出不同工艺条件下的材料去除率随晶圆切割过程的变化曲线如图6所示。