《表1 工艺参数：基于ARM的放电概率电火花线切割半导体伺服系统设计及工艺研究》
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《基于ARM的放电概率电火花线切割半导体伺服系统设计及工艺研究》
实验改造的伺服进给系统基于HF400D往复走丝电火花线切割机床（图1）。使用该机床对硅晶体进行电火花线切割加工，工艺参数见表1。
| 图表编号 | XD0050464700 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.04.20 |
| 作者 | 刘洛尘、邱明波、沈理达、赵剑峰、邵程杰、刘志东 |
| 绘制单位 | 南京航空航天大学机电学院、南京航空航天大学机电学院、南京航空航天大学机电学院、南京航空航天大学机电学院、南京航空航天大学机电学院、南京航空航天大学机电学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
