《表2 切割验证结果:TFT-LCD摩擦工艺过程中静电放电不良分析及改善设计》

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《TFT-LCD摩擦工艺过程中静电放电不良分析及改善设计》


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表2是切割打断验证的结果。从表中可以看出,切断(2)的位置后,不良没有发生。此结果可以验证静电是从IC侧引入。切断(3)、(4)后,不良虽略有降低但是仍有发生。通过上述的测试可以看出,静电是由靠近IC侧的填充图形引入。