《表1 实验方案表:TFT-LCD中无机非金属膜层干涉效应对显示画质效果的改善研究》

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《TFT-LCD中无机非金属膜层干涉效应对显示画质效果的改善研究》


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基于上述白画面泛红现象与Si Nx膜层厚度相关的结论,根据模拟结果推测不会发红的Si Nx厚度为0~65 nm、83~156 nm、175~182 nm、250~311 nm、416~454 nm,不会发红的Si O2厚度为0~86 nm、126~206 nm、377~411 nm,从中选取红波段穿透较低膜厚进行搭配验证。找到适合量产的改善方案,实验方案的范围选取如表1所示。