《表3 改善前后性能参数对比表》
通过改变晶圆的内部的间隙来提高晶圆的抗静电能力,主要扩大如图14所示6个位置的间距。导入优化晶圆设计,将失效区晶圆内部区域间距放大,提高本体的ESD(MM)水平。如图14、表3所示,改善之后晶圆抗静电耐压能力明显提高。
图表编号 | XD00151040100 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.05.04 |
作者 | 王少辉、项永金 |
绘制单位 | 格力电器(合肥)有限公司、格力电器(合肥)有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
通过改变晶圆的内部的间隙来提高晶圆的抗静电能力,主要扩大如图14所示6个位置的间距。导入优化晶圆设计,将失效区晶圆内部区域间距放大,提高本体的ESD(MM)水平。如图14、表3所示,改善之后晶圆抗静电耐压能力明显提高。
图表编号 | XD00151040100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.05.04 |
作者 | 王少辉、项永金 |
绘制单位 | 格力电器(合肥)有限公司、格力电器(合肥)有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |