《表1 该设备PLC部分引脚和辅助继电器定义》

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《热阴极电离规管频繁损坏故障分析与处理》

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处理频繁损坏故障的方法有多种，通过故障分析，选择了费用低速度快的方法，即修改电路和PLC程序。该设备PLC程序包括手动模式和自动模式。通过修改设备的PLC程序里的语句，实现自动控制真空计电源的目的。将手动操作真空计电源改为自动操作，从而提高电离规管的可靠性。这种方法避免了手动操作出错的可能。将PLC程序恢复到以前的程序，然后，在高阀由开启变成关闭的时候，延时10 min，即关掉真空计的电源。延时10 min是为了方便用设备上的真空计测量设备的真空漏率，或者说使用静压检漏。在延时10 min时间内打开高阀，真空计就不会关闭。真空计关电以后，打开初抽阀或者高阀（如果可以打开的话），真空计就会加电打开。另外对真空室充气也会关闭真空计电源。等到对真空室充气结束，真空室达到大气状态时，真空计就会加电打开。修改PLC程序以后试用一个月，设备运行正常，电离规管频繁损坏故障得到解决。在接下来的半年时间里，电离真空计工作都正常，未出现损坏现象。部分PLC接线图如图5所示，增加的PLC梯形图如图6所示。该设备PLC部分引脚定义和辅助继电器定义如表1所示。以X开头的引脚名是输入，以Y开头的引脚名是输出。辅助继电器M21与触摸屏上的充气按键显示状态相关。