《表1 日立金属技术主题布局》
(注:新增为近十年新增申请量,-为无新申请)
“扩散工艺”研究的主要包括几个方面:扩散源的处理,扩散源的选择,高低温扩散,涂布方式扩散,以及扩散装置改进及相应工艺;“微结构改进”的研究热点主要关注主相中元素浓度的变化,主相与晶界的关系,相结构的组成以及性能的变化。
图表编号 | XD00148776100 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.08.01 |
作者 | 李晓蕾 |
绘制单位 | 北京国知专利预警咨询有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
(注:新增为近十年新增申请量,-为无新申请)
“扩散工艺”研究的主要包括几个方面:扩散源的处理,扩散源的选择,高低温扩散,涂布方式扩散,以及扩散装置改进及相应工艺;“微结构改进”的研究热点主要关注主相中元素浓度的变化,主相与晶界的关系,相结构的组成以及性能的变化。
图表编号 | XD00148776100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.08.01 |
作者 | 李晓蕾 |
绘制单位 | 北京国知专利预警咨询有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |