《表1 图5中多层膜表面不同区域的化学成分（EDS法）》

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《磁控溅射WS_x/W/DLC/W多层膜的微观结构及摩擦学性能》

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图5为薄膜在大气环境下进行摩擦测试后的磨痕形貌，其表面不同区域的化学成分如表1所示。通过图5和表1可知，δw=6 nm的WSx/W/DLC/W纳米多层膜的磨痕较窄，轨道中间部分薄膜有被碾压的痕迹，但薄膜并未磨破（磨损区域A与原始表面B的Si含量十分接近）。反观δw=0、2、8 nm的多层膜，磨痕宽度比前者大，且已裸露出Si基体（A区域的Si含量很高且W、S的含量很低），表明这3种多层膜试样的耐磨性相比前者要差。