《表2 像差理论值与实际测量值对比》

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《基于立体相位测量偏折术的预应力薄镜面形检测》

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接着对预应力薄镜的像差变形进行了测量，四种像差的理论目标校正函数如图15所示，对应变形后的检测结果如图16所示，表2为理论目标校正函数与实际变形检测结果的PV、RMS对比。图表展示的结果表明，4种像差对应薄镜变形的本文检测结果和相应的目标校正函数是一致的。