《表2 等离子体喷涂参数：气体传感器用Au掺杂WO_3基复合涂层的组织及气敏性研究》

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《气体传感器用Au掺杂WO_3基复合涂层的组织及气敏性研究》

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复合涂层中包含2层材料，位于下层的是Pt加热器，上层结构由Au电极组成。制备复合涂层时，需先利用不锈钢板充分固定上述材料，再利用掩模板遮挡电极下部区域，接着利用以上浆料，以等离子体喷涂的工艺在Au电极上沉积获得WO3基复合涂层。本实验使用APS-2000 K等离子体喷涂系统，表2给出了等离子体喷涂的各项工艺参数，并对各喷涂距离下形成的涂层结构进行了分析。作为对比，按照同样条件制备得到纯WO3涂层。