《表1 化学试剂：液相等离子喷涂制备Au-WO_3复合涂层及其气敏机理》

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《液相等离子喷涂制备Au-WO_3复合涂层及其气敏机理》

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以氯化钨为溶质，以水和乙醇混合溶液为溶剂，构成前驱体浆料，并向其中加入6%的Au纳米粒子（粒径5～10 nm）作为掺杂相，采用氨水调整浆料的pH值，以聚乙二醇为表面活性剂，采用机械搅拌和超声振荡相结合的方法使浆料保持均匀和稳定。采用蠕动泵完成对浆料的定量输送，利用压缩空气和雾化喷嘴实现对浆料的雾化，最终使浆料以微小液滴的形式进入等离子体火焰中，经过加热和蒸发，形成固体晶粒，在传感器表面形成WO3基复合气敏涂层。所用到的化学试剂如表1所示，喷涂浆料的配制和输送过程如图1所示。