《表1 实验用气体传感器：微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究》

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《微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究》

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将制得的Zn O颗粒与YY—1010多孔膜印油（武汉华锐创科）按质量比1∶1混合，研磨均匀制成浆料，通过丝网印刷方法将浆料印在TC—5010（武汉华锐创科）传感器基片上，空气中流平10 min，经60℃×30 min烘干后放入马弗炉中300℃×2 h加热，去除印油，得到纯Zn O气体传感器。配置0.1 mol/L的Mg（NO3）2，MnCl2，Pd Cl2，Sn Cl4溶液各10 m L，用移液枪分别移取各种溶液0.5μL，分别滴在纯Zn O传感器表面，空气中静置1 h，经60℃×2 h烘干后放入马弗炉中550℃×2 h烧结，制得掺杂Zn O气体传感器，各传感器编号及掺杂种类如表1所示。所有传感器在测试前都被加热到450℃，老化3天。