《表1 几何模型尺寸表：铌酸锂声表面波气体传感器及其谐振频率的研究》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《铌酸锂声表面波气体传感器及其谐振频率的研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

SAW器件中的IDT可能包含数百个相同的叉指电极，电极的宽度远远小于其长度，故在建模时，可以忽略边缘效应将模型的几何结构简化为二维的周期性单元。SAW的能量随压电基底深度的增加呈指数衰减，当基底的深度超过SAW波长的三倍时，声表面波的能量将衰减到表面处的5%以下，所以，基底的高度无需设置过高，为了确保分析的精确度，只需向下扩展3～4个SAW的波长即可。综合考虑各项设计要点，设置表1所示的几何模型，模型几何结构如图3所示。