《表2 温度补偿前后性能对比》

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《硅微谐振式加速度计温度效应标定与补偿》

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最后，考察了系统对测温带来的温度滞回效应的抑制效果。将静止的系统放置在0～20℃下以1℃/min的速率进行连续升降温的环境中，输出结果如图12所示。由于测温误差导致温度滞回现象，升降温的轨迹并不能完全重合。同一温度下升降温输出加速度值之差被定义为滞回误差，经过补偿，该误差从0.02g下降到0.003g，滞回效应抑制效果明显。表2对比了补偿前后的零偏温度稳定度、滞回误差和标度因子的温度系数。