《表1 4 min-FTO薄膜微区EDS数据Tab.1 EDS results of 4 min-FTO film》

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《AACVD方法制备FTO薄膜及其结构与光电性能研究》

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以4 min-FTO样品为例，其高分辨透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，TEM）照片如图2所示，其微区X射线能量色散谱结果（Energy Dispersive Spectrometer，EDS）如表1所示。高分辨观察到的0.239 nm和0.334 nm晶格条纹分别对应金红石相Sn O2的（200）和（110）晶面，这与前文XRD的结果一致。根据微区EDS数据计算得到F∶Sn原子分数比约为6.40%，与前驱体溶液中的15.00%相比，掺杂效率约为42.67%。