《表1 沉积过程试样的主要工艺参数》

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《晶格畸变对VO_2相变温度的影响》

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此外，试验用金属V靶（99.95%）直径约为100 mm。溅射电源的频率为50 Hz，脉宽为400μs，峰值功率约为40 k W，溅射过程中电流与电压波形如图2所示，主要试验参数如表1所示。