《表2 耐环境性测试结果：碳化硅单晶片关键质量指标及评价方法研究》

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《碳化硅单晶片关键质量指标及评价方法研究》

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针对碳化硅单晶片质量的评价指标，本文阐述了其指标体系、关键指标和表征方法。在梳理碳化硅单晶片固有质量和使用质量的基础上，从固有质量分级、使用质量评估以及测试方法适用性等3个方面开展分析，识别并验证了高性能芯片用碳化硅单晶片的质量评估指标和新测试方法，形成了可供批产阶段用研双方使用的质量描述和控制的指标参数及评价方法，以用于指导碳化硅基芯片用材料的质量水平控制。