《表1 产品质量分级表：碳化硅单晶片关键质量指标及评价方法研究》
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因此，根据用户对微管密度和翘曲度的要求以及国内生产单位目前的实际水平，对产品依据性能进行分级（见表1）。
| 图表编号 | XD00127616600 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.07.20 |
| 作者 | 曹易、田欣、薛超、王一刚、郑风振、洪颖 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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