《表5 5种点缺陷的载流子浓度对比Tab.5 Carrier concentration comparison of five kinds of point defects》

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《4H-SiC中点缺陷的第一性原理研究》


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式中EC即为导带底能量。由于这两种缺陷的缺陷能级都比较靠近导带,所以本文仅计算了导带的电子密度。根据上文建立的掺杂晶格模型和公式,分别对其载流子浓度进行了计算,计算结果如表5所示。