《表3 边缘对四探针检测结果的影响》

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《一种多晶硅质量下滑原因的分析方法》

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四探针检测要求针头中任意一探针离样品边缘的最近距离不得小于3倍针距，但在实际检测中经常需要对靠近外边缘处或者靠近硅芯的位置进行检测，这就需要对检测的结果进行修正。靠近外边缘的位置检测值要比实际值大，在最外边缘的检测值约为实际值的1.5倍（如表3所示）；靠近硅芯的位置（未发生彩脱芯）检测值比实际值偏小，偏离程度需考虑与硅芯的距离及硅芯的电阻值。