《硅材料质量与硅器件工艺》

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目录1

1.国外半导体硅单晶及其质量 上海有色金属研究所 夏锦禄1

2.硅晶片的切磨抛工艺 中国科学院上海冶金研究所 王自筠12

3.硅烷外延 复旦大学 张冠生23

4.诱生缺陷与硅器件性能 中国科学院上海冶金研究所 杨传铮 田佩兰34

5.杂质吸收效应 上海半导体器件研究所 王儒全72

6.硅-二氧化硅界面态 复旦大学 王迅82

7.硅材料测试方法的几点改进 上海科学技术大学 曹泽淳92

8.汞探针容-压法硅外延测试 上海元件五厂、复旦大学 包宗明98

9.汞探针C-V测试在硅外延生产及元件工艺中的作用 上海元件五厂、复旦大学 包宗明104

10.扩展电阻法的基本原理及其应用 复旦大学 张敬海111

11.X射线貌相术及其在半导体材料和器件中的应用 中国科学院上海冶金研究所 杨传铮125

1979《硅材料质量与硅器件工艺》由于是年代较久的资料都绝版了,几乎不可能购买到实物。如果大家为了学习确实需要,可向博主求助其电子版PDF文件(由上海科学技术文献出版社编 1979 上海:上海科学技术文献出版社 出版的版本) 。对合法合规的求助,我会当即受理并将下载地址发送给你。

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