《硅材料物理测试》求取 ⇩

硅材料物理测试天津半导体材料厂1

一、测试前硅单晶的预处理1

二、切割与粗磨1

三、导电类型的测定2

四、电阻率的测量3

五、双脉冲法测硅单晶寿命8

六、抛光与腐蚀11

七、位错密度的测量12

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