《薄膜技术及应用》

第一章 薄膜技术基础1

1 薄膜及其特征1

2 薄膜的形成2

3 薄膜的力学性质9

4 薄膜的电导18

5 金属薄膜中的电迁移25

6 介质薄膜27

第二章 真空蒸发镀膜31

1 真空的获得与测量31

2 真空蒸发镀膜原理36

3 蒸发源42

4 蒸发源的发射特性和膜厚分布51

5 一般蒸镀技术56

6 特殊蒸镀技术57

7 真空蒸发镀膜机64

第三章 真空溅射镀膜68

1 溅射镀膜的特点68

2 溅射理论68

3 溅射产额及选择溅射71

4 溅射原子能量和角度的统计分布79

5 反应溅射80

6 薄膜形成过程中的几个问题82

7 溅射镀膜方式84

第四章 其他物理气相淀积方法94

1 真空离子镀膜技术94

2 离子束淀积技术106

3 分子束外延生长109

第五章 化学气相淀积技术116

1 化学气相淀积技术原理、反应方式和特点116

2 化学气相淀积所使用材料120

3 化学气相淀积装置122

4 常压化学气相淀积（APCVD）125

5 低压化学气相淀积（LPCVD）136

6 等离子增强化学气相淀积（PECVD）142

7 有机金属化学气相淀积（MOCVD）146

8 光化学气相淀积（光CVD）148

第六章 薄膜图形形成技术151

1 光刻掩模版的制做151

2 光刻法152

3 干法刻蚀154

4 掩蔽法160

5 剥离法（反向刻蚀法）162

第七章 薄膜技术应用164

1 薄膜技术在温度敏感元件中的应用164

2 薄膜技术在磁敏元件中的应用169

3 薄膜技术在湿敏元件中的应用173

4 薄膜技术在气敏元件中的应用174

5 薄膜技术在力敏元件中的应用176

6 薄膜技术在半导体器件中的应用177

7 薄膜技术在电子元件中的应用179

8 薄膜技术在机械工业中的应用182

9 塑料基片上薄膜技术的应用186

10 薄膜技术在光电器件中的应用188

11 信息、计算机工业中的薄膜技术190

第八章 薄膜检测193

1 薄膜厚度的检测193

2 薄膜的形貌和结构检测201

附录：基片212