《微机电系统设计与制造》高清PDF
作者:莫锦秋等编著
出版:北京:化学工业出版社
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出版时间:2004.03 (求助前请核对清楚)
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本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术,对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。
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