《微机电系统基础 英文版》高清PDF
作者:(美)Chang Liu
出版:北京:机械工业出版社
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出版时间:2008.01 (求助前请核对清楚)
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《微机械光子学 英文本》高清PDF下载 H.Ukita编著 2007.01
《微传感器、微机电系统和灵巧器件》高清PDF下载 加德纳(Gardner,J.W.),瓦拉旦(Varadan,V.K.),韦德尔卡姆(Wadelkarim,O.A.)著 2004.03
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《控制电机电磁兼容测试与抑制技术》高清PDF下载 熊端峰,罗建主编 2019.01
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本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面。同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法,既便于比较,又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。本书被美国伊利诺伊大学、斯坦福大学等选为教材。
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