《MEMS和微系统-设计与制造》高清PDF
作者:(美)徐泰然(Tai-Ran Hsu)著;王晓浩等译
出版:北京:机械工业出版社
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出版时间:2004.01 (求助前请核对清楚)
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本书提供了对MEMS技术基础的深入观察,涉及MEMS的力学、物理和材料科学基础,讲解了微系统工程的基本原理,列举了MEMS及其在制造、通信、生物工程、运输和其他领域的应用。
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