本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。

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