微传感器、微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍了微传感器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器……

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