《微传感器、微机电系统和灵巧器件 英文影印版》高清PDF
作者:Julian W.Gardner,Vijay K.Varadan,Osama O.Awadelkarim
出版:北京:清华大学出版社
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出版时间:2004.03 (求助前请核对清楚)
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《微传感器、微机电系统和灵巧器件》高清PDF下载 加德纳(Gardner,J.W.),瓦拉旦(Varadan,V.K.),韦德尔卡姆(Wadelkarim,O.A.)著 2004.03
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微传感器、微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanicalsystems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(microsystems)或片上系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传感器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面,对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。
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