《微机电系统机械学》高清PDF
作者:张向军编著
出版:北京:清华大学出版社
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本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律,以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律,并结合典型的微纳米系统阐述了应用实例。
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