国家科普知识重点图书:本书论述微机械加工工艺、MEMS力学问题、微型传感器、微执行器、真空微电子器件、典型微系统与应用等。

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  10. 《MEMS技术及应用》高清PDF 本书讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。...

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