《表6 准确度实验：集成电路工艺用过氧化氢中杂质元素的检测方法》

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《集成电路工艺用过氧化氢中杂质元素的检测方法》

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在优化后的条件下测试低浓度点（0.1μg/kg）、中间浓度点（0.5μg/kg）和高浓度点（2.0μg/kg），用回收率考察准确度，用重复性和再现性考察精密度。如表6所示，回收率在91.1～103.2之间，重复性的相对标准偏差≤5.2%，再现性的相对标准偏差≤10.2%。