《表3 稀释-标准曲线法测试过氧化氢（1μg/kg)》

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《集成电路工艺用过氧化氢中杂质元素的检测方法》

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为降低新产生的氧气对载气的干扰，可以采用纯水稀释法和铂电极分解法两种方法。将过氧化氢用纯水稀释100倍，可以有效降低氧气对载气的干扰，如表3所示。但是，稀释后杂质元素的含量变得更低，对设备的检出限提出更高的要求。采用铂电极分解方法将过氧化氢转化成纯水进行测试，既可以降低氧气对载气的干扰，又不提高杂质的检出限。但是，铂电极分解需要4～8 h，整个过程中对环境要求较高，不能有杂质污染样品；同时，铂电极的元素迁移会造成样品的再次污染。对于检出限要求在10-12水平的检测，稀释法和铂电极分解法都不能满足。