《表1 某公司特种石墨的杂质元素含量的典型检测值×10-6》

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《炭-石墨类材料提纯技术》

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炭-石墨类材料应用在高端工业领域时，对其纯度指标提出了更高的需求，如半导体行业，要求纯度达到99.999%以上[13]。仅通过高温提纯已经无法达到纯度要求，现在行业中一般使用卤素气体提纯法，在高温提纯工艺中加入卤素气体（主要是氯气和卤代烃），利用卤素气体的强氧化性，与材料中的金属氧化物杂质反应生成氯化物或氟化物等卤化物，由于金属卤化物的沸点远低于热处理温度，在高温条件下，金属卤化物大量气化排出，进而实现对炭-石墨类材料的进一步提纯，经过卤素气体提纯后，炭-石墨类材料的纯度可以达到99.999%以上[14]。卤素气体提纯法的另外一个优势是可以针对性地降低炭-石墨类材料中某些有害杂质元素的含量。表1给出了国外某公司2种高纯度特种石墨的杂质元素检测数据[13]。