《表1 常见多孔陶瓷制备工艺比较[5–8]》

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《凝胶注模法制备多孔Si_3N_4陶瓷研究进展》

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Si和N元素的低扩散能力[3–4]，使得Si3N4陶瓷较难烧结，因此，多孔Si3N4陶瓷的制备方法和很多其它多孔陶瓷（如多孔氧化物陶瓷）的制备方法有较大差异。目前多孔Si3N4陶瓷的成型制备方法主要有：颗粒堆积法、反应烧结法、添加造孔剂法、发泡法、有机泡沫浸渍法和冷冻干燥法等。表1为上述工艺的对比分析[5–8]。由于氮化硅陶瓷硬度高，熔点高，难以进行加工，使用以上方法难以制备得到形状复杂，孔隙率高并且抗弯强度较高的结构陶瓷件。