《表2 不同温度下多项式展开式系数》

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《新型圆光栅测角误差补偿方法及其应用》

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首先，采用2.2节介绍的谐波误差补偿模型分别求解出10，15，20，25，30，35和40℃下的谐波分量系数，如表1所示。不同温度下圆光栅传感器测角误差补偿后残差均在±2″以内，效果如图3所示（展示部分温度补偿效果）。其次，运用2.3节介绍的多项式法建立每个谐波分量系数与温度之间的关系，并采用LM算法分别求解出多项式系数如表2所示。最后将每个谐波分量系统与温度之间的函数关系代入公式（4）即可。