《表1 单侧涡旋干式真空泵几何参数》
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本文中的单侧涡旋干式真空泵泵腔的各部分几何尺寸如表1所示。根据涡旋干式真空泵的主要参数建立了单侧涡旋干式真空泵的流动区域模型，如图1所示。
| 图表编号 | XD0084941900 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.07.25 |
| 作者 | 邓文宇、段永利、齐丽君、孙宝玉 |
| 绘制单位 | 沈阳中北通磁科技股份有限公司、沈阳中北通磁科技股份有限公司、沈阳中北通磁科技股份有限公司、沈阳中北通磁科技股份有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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